[发明专利]一种连续真空镀膜生产控制方法在审
| 申请号： | 201710560465.6 | 申请日： | 2017-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN109234698A | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 万三保 | 申请（专利权）人： | 上海璞丰光电科技有限公司;万三保 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/56;C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 上海愉腾专利代理事务所(普通合伙) 31306 | 代理人： | 唐海波 |
| 地址： | 201614 上海市松江*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种连续真空镀膜生产控制方法，应用于包括生产设备和PLC总控的连续真空镀膜生产线，包括以下步骤：通过传感器获取生产线现场实时数据；根据实时数据判断是否满足初始运行条件，若满足运行条件则运行自检系统，若不满足运行条件则运行初始化自我修复系统；若自检通过则运行真空抽气系统，否则运行初始化自我修复系统；当满足生产需要真空条件时，运行真空磁控溅射系统和高纯氩气流量控制系统；设置生产任务的工艺参数后开启全自动传动模式；根据全自动传动模式执行全自动生产任务；是适应VFD制造工厂的高度自动化的实现方法，有效的减少了人工投入量，提高了设备稳定性，减少了人员的工作量，提高了工作效率和降低了维护成本。 | ||
| 搜索关键词： | 连续真空镀膜 运行条件 自我修复系统 传动模式 生产控制 初始化 流量控制系统 实时数据判断 现场实时数据 真空抽气系统 真空磁控溅射 全自动生产 设备稳定性 高纯氩气 工作效率 生产设备 真空条件 制造工厂 自检系统 投入量 传感器 自检 工作量 自动化 生产 应用 维护 | ||
【主权项】：
1.一种连续真空镀膜生产控制方法，应用于包括生产设备和PLC总控的连续真空镀膜生产线，其特征在于，所述连续真空镀膜生产控制方法包括以下步骤：通过传感器获取生产线现场实时数据；根据实时数据判断是否满足初始运行条件，若满足运行条件则运行自检系统，若不满足运行条件则运行初始化自我修复系统；若自检通过则运行真空抽气系统，否则运行初始化自我修复系统；当满足生产需要真空条件时，运行真空磁控溅射系统和高纯氩气流量控制系统；设置生产任务的工艺参数后开启全自动传动模式；根据全自动传动模式执行全自动生产任务。
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