[发明专利]用作腐蚀探测器的触点过孔链在审
| 申请号： | 201680027765.1 | 申请日： | 2016-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN107636815A | 公开（公告）日： | 2018-01-26 |
| 发明（设计）人： | F·迪获;D·施奈德 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;H01L23/58 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于确定有故障的半导体元件(101)的探测器(100)，其具有半导体元件(101)、与所述半导体元件(101)横向间隔开地布置并局部地包围所述半导体元件(101)的触点过孔链(102)、与所述半导体元件(101)横向间隔开地布置的保护环(103)以及布置在所述半导体元件(101)上的分析评价单元(104)，其特征在于，所述分析评价单元(104)被设置为对所述触点过孔链(102)施加电压、尤其是持久性电压，检测所述触点过孔链(102)的电阻值，并且当所述触点过孔链(102)的电阻值超过阈值时产生输出信号。 | ||
| 搜索关键词： | 用作 腐蚀 探测器 触点 | ||
【主权项】：
用于确定有故障的半导体元件(101)的探测器(100)，具有：半导体元件(101)、与所述半导体元件(101)横向间隔开地布置并局部地包围所述半导体元件(101)的触点过孔链(102)、与所述半导体元件(101)横向间隔开地布置的保护环(103)以及布置在所述半导体元件(101)上的分析评价单元(104)，其特征在于，所述分析评价单元(104)被设置为：对所述触点过孔链(102)施加电压、尤其是持久性电压，检测所述触点过孔链(102)的电阻值，并且当所述触点过孔链(102)的电阻值超过阈值时产生输出信号。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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