[发明专利]激光结晶装置有效
| 申请号： | 201610920465.8 | 申请日： | 2016-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN107034513B | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 李忠焕;李洪鲁;朴来喆 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C30B1/02 | 分类号： | C30B1/02;C30B29/06;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 郭艳芳;康泉 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种激光结晶装置。该激光结晶装置包括被配置为接收基板的载物台，该载物台包括：多条槽线，均具有预定的深度和宽度；和多个控制孔，均被布置在相应的槽线中。每个控制孔被提供有用于将基板保持于载物台的表面的负压或者用于从载物台的表面释放基板的正压。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 结晶 装置 | ||
【主权项】：
一种激光结晶装置，包括：被配置为接收基板的载物台，所述载物台包括：多条槽线，均具有预定的深度和宽度；和多个控制孔，均被布置在相应的槽线中，其中每个控制孔被提供有用于将所述基板保持于所述载物台的表面的负压或者用于从所述载物台的所述表面释放所述基板的正压。
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