[发明专利]形成发光二极管的方法无效
申请号: | 200310119895.2 | 申请日: | 2003-12-05 |
公开(公告)号: | CN1624941A | 公开(公告)日: | 2005-06-08 |
发明(设计)人: | 郭政达;蔡文忠;陈聪育;黄少华 | 申请(专利权)人: | 连威磊晶科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 周国城 |
地址: | 台湾省新竹县303*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明是有关于一种形成发光二极管的方法。以微影蚀刻方式定义出发光二极管晶粒以取代切割步骤,并利用化学或物理方法来形成发光二极管的金属基板的方式。 | ||
搜索关键词: | 形成 发光二极管 方法 | ||
【主权项】:
1.一种形成发光二极管的方法,其特征在于,包含以下的步骤:形成一发光二极管磊晶层于一暂时性基板之上;以微影蚀刻将该发光二极管磊晶层蚀刻成发光二极管晶粒;形成一反射层于该发光二极管晶粒之上;以化学或物理方法形成一金属层于该反射层之上,作为永久金属基板;移除该暂时性基板;形成电极于该发光二极管晶粒移除该基板后裸露的表面上;以及将金属基板以机械应力分开,以形成独立的发光二极管晶粒。
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