[发明专利]光束偏转器

摘要

一束偏转器(40)包括一对配套的微棱镜阵列(42)和(48)，一个阵列由一种可变折射率的材料(48)构成，该材料的折射率可随调节施加的电压所调节的电场大小或强度而选择性地发生变化。该另一阵列(42)最好由具有恒定折射率的材料构成。在该可变折射率阵列的两侧都安置有一导电层(102、104和82)。最好在该阵列的前面和后面安置一面板(68和70)。两付阵列可以相互平行地安置，一般使它们的微棱镜垂直，从而形成一二维偏转器。为了实现响应时间快于100μs的偏转，每个棱镜都具有不大于大约20μm的高度和最好不大于大约100μm的宽度。最好是，每个棱镜的高小于大约15-10μm，以实现30μs或更快的响应时间。一种制作该偏转器的方法，包括利用直写式电子束蚀刻技术来制造母版，用来复制具有高度为10μm以下的阵列。一对偏转器可用来使光束发生二维偏转，并可用于扫描仪上。在光束为激光的情形，该偏转器就可用于激光成像雷达装置。一种这样的扫描仪和激光成像雷达装置提供了物体或区域的快速扫描，有利地是在扫描过程中毋需移动该偏转器。

主权项

1.一个用来使电磁能束发生偏转的光束偏转器，其特征在于包括：a)一第一棱镜，具有(1)一能在有电场或磁场存在时发生变化的折射率，(2)一光束进入该第一棱镜时所通过的第一面，以及(3)一光束从该第一棱镜射出时所通过的第二面；b)一第二棱镜，具有(1)一保持基本恒定的折射率，(2)一光束进入该第二棱镜时所通过的第一面，以及(3)一光束从该第二棱镜射出时所通过的第二面；c)在这里，该第一棱镜和第二棱镜是这样匹配的，使该第一棱镜的第二面紧邻第二棱镜的第一面放置；d)一这样构成和安排的电场或磁场源，使得该场至少穿过该第一棱镜；e)在这里，该电场或磁场的通量变化会使该第一棱镜的折射率发生变化，因而使得光束通过该棱镜时的偏转角发生变化。