[发明专利]废乙二醇基浆料的分离,再生和重新使用的方法无效

专利信息
申请号: 99808051.9 申请日: 1999-07-01
公开(公告)号: CN1307517A 公开(公告)日: 2001-08-08
发明(设计)人: C·加瓦塔利;G·弗莱加科莫 申请(专利权)人: MEMC电子材料有限公司
主分类号: B28D1/02 分类号: B28D1/02;B01D21/26;B01D37/04;B03B9/06
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 段承恩
地址: 美国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种分离、回收和重新使用废弃的在从硅锭上切硅晶片过程中所用的浆料中的各成分的方法,在该方法中,降低废浆料的粘度,把浆料的润滑液成分与固体分离并收集,所收集的润滑液成分适合于在新浆料的制备过程中重新使用,而没有必要进行任何额外的分离步骤。另外,可以收集所分离的固体,并进一步分离成未失效的磨料颗粒成分和废产物部分,未失效的磨料颗粒成分适合于在新浆料的制备过程中重新使用,废产物含有硅颗粒和废磨料颗粒。
搜索关键词: 乙二醇 浆料 分离 再生 重新 使用 方法
【主权项】:
1.一种处理在从硅锭上切硅晶片过程中产生的废浆料的方法,所述浆料包含磨料颗粒成分和润滑液成分,使得可以回收至少所述成分之一并且在制备新浆料中重新使用,所述方法包括:把所述废浆料加热,降低粘度;把所加热的浆料分离成液体部分和固体部分,所述液体部分包含润滑液成分;和收集所分离的液体部分,所述液体部分可以在新浆料的制备过程中重新使用,而无需进一步分离。
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