[发明专利]水溶性负性光刻胶组合物无效
| 申请号： | 99806602.8 | 申请日： | 1999-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN1303401A | 公开（公告）日： | 2001-07-11 |
| 发明（设计）人： | I·麦克库罗克;A·J·伊斯特;康明;R·克西安;H－N·尹 | 申请（专利权）人： | 克拉里安特国际有限公司 |
| 主分类号： | C08F246/00 | 分类号： | C08F246/00;G03F7/038;G03F7/039 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李瑛 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种水溶性聚合物,当该聚合物与光致酸生成剂(PAG)一起使用时,形成负性水溶性光刻胶。该聚合物包括通过连接基团与缩醛保护的β－酮酸基团偶联的主链,如聚乙烯基醚。通过加入大量的市购光致酸生成剂,聚合物制剂形成水溶性负性光刻胶。照射曝光会造成先致酸催化缩醛基团脱保护,生成β－酮酸,该β－酮酸在加热时会发生脱羧,得到水不溶性光致产品并放出二氧化碳副产品。该光化学诱导反应导致聚合物溶解度参数明显变化,且产品不再溶于水。由于溶解度改变不需要交联,因此显影期间暴露于含水基质时不会出现刻蚀图象溶胀,因此不会降低分辨率。这使所用的光刻胶在i－线和深UV波长下具有高分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 水溶性 光刻 组合 | ||
【主权项】：
1． 一种特别适合用作光刻胶的聚合物，包括如下结构：其中R1-R4独立地为H、(C1-C5)烷基或(C1-C5)烷氧基，X为C=O、OCO、CONH、O、芳基(C1-C5)烷基。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于克拉里安特国际有限公司，未经克拉里安特国际有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/99806602.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：水处理产品及其方法
- 下一篇：适合生产蛋白质的表达系统
