[发明专利]模块集成电路处理机的转动组件

摘要

本发明的转动组件包括一种可以将载运组件的方向转动90度并供给至加热腔室的内部处用的装载侧转动组件，及可以将收装在检测部处的、与模块型集成电路呈垂直状态相插接的载运组件转动90度、并传送至卸载位置处的卸载侧转动组件。该装载侧转动组件是由驱动组件、传送部件和可夹持住载运组件或解除这种夹持用的夹持组件，及可以将传送部件推入至转动板的内部或由该内部处拉出的推入、拉出用组件构成；该卸载侧转动组件是由转动板、驱动组件和夹持组件构成。

主权项

1.一种模块集成电路处理机的转动组件，其特征在于，具有装载侧转动组件，而且这种装载侧转动组件具有：以可转动方式设置在加热腔室中的挡板上侧处的转动板；驱动该转动板转动90度用的驱动组件；传送部件，以可以插入收装有被检测的模块型集成电路的载运组件的、并且可以被拉出至转动板的方式设置；对插入、设置在该传送部件处，对所插入的载运组件实施夹持或解除夹持的夹持组件；以及推入、拉出用组件，可以将所述的传送部件相对于转动板的内部实施推入和拉出；以及还具有转动板，以位于检测部拉出侧的挡板侧的轴为中心可以转动的方式设置；可驱动该转动板转动90度的驱动组件；夹持组件，设置在该转动板处对载运组件实施夹持或解除夹持。