[发明专利]净化废气的工艺和装置无效
| 申请号： | 99122900.2 | 申请日： | 1999-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN1133484C | 公开（公告）日： | 2004-01-07 |
| 发明（设计）人： | 晖末八;宫野安定;秋田昇;大塚健二;岛田孝 | 申请（专利权）人： | 日本派欧尼股份株式会社 |
| 主分类号： | B01D53/58 | 分类号： | B01D53/58 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 刘志平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 公开一种净化含氨废气的工艺，该工艺包括如下步骤使废气与加热的氨分解催化剂(如镍、钌)接触，以使大部分氨分解成氮气和氢气；随后使如此得到的混合气体与氨吸附剂(例如合成氟石)接触，以吸收未分解的氨；然后加热再生该吸附剂，同时使含有吸附剂解吸氨的再生废气与该加热的氨分解催化剂或另一个氨分解催化剂接触；还公开一种实现上述工艺的装置。采用上述工艺和装置可以有效地和完全地净化半导体制造等工艺中排出的净化废气，而不产生无用的副产品，并可以省去次级处理。 | ||
| 搜索关键词： | 净化 废气 工艺 装置 | ||
【主权项】：
1.一种净化含氨废气的工艺，该工艺包括以下步骤：使含氨废气与至少一系列氨分解催化剂进行加热接触，从而使氨分解成氮气和氢气；然后使由此得到的混合气体在最高100℃的温度下与至少一系列氨吸附剂接触，该吸附剂配置成可以吸附废气中剩余的未分解氨，以使废气净化；随后加热吸附剂，使其再生，同时使含有吸附剂解吸氨的再生废气或者与上述加热的氨分解催化剂，或者另一个氨分解催化剂接触，由此净化含有解吸氨(desorbedammonia)的废气。
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