[发明专利]一种新型湿敏传感器的制备方法无效
| 申请号： | 99113697.7 | 申请日： | 1999-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN1274084A | 公开（公告）日： | 2000-11-22 |
| 发明（设计）人： | 姚熹;赵鹏;翟继卫;张良莹;邓月;孔令兵 | 申请（专利权）人： | 姚熹;赵鹏;翟继卫 |
| 主分类号： | G01N27/02 | 分类号： | G01N27/02;B32B31/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200092 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种能够用于湿度测量的湿敏传感器的制造方法。采用溶胶－凝胶工艺,通过湿敏先体溶液的配制,在具有叉指电极陶瓷基片上,用提拉法镀膜,经过适当的热处理,可以制造LiCl/玻璃基复合薄膜型湿敏传感器,该类传感器可以在全湿范围内实现对湿度的测量,并且阻值适中,阻抗对湿度的线性度亦较好。该方法工艺简单,成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
该技术的突出特征是使用溶胶-凝胶工艺，将湿敏组元(氯化理)复合到以二氧化硅为主的基质玻璃溶胶中。其次，该技术采用提拉法在印有金叉指电极的陶瓷基板上镀膜。第三，薄膜干燥是室温自然干燥，或超临界干燥。第四，该技术是将薄膜在高温下热处理(400～650℃)0.5～2小时。要求保护的范围：1.利用溶胶-凝胶工艺，将氯化锂或四氧化三铁等湿敏组元复合到二氧化硅基玻璃中(玻璃？？组成为：SiO2：50～100％，Al2O3：0～50％，B2O3：0～50％；活性组元在玻璃中的含量为：？？10～50％)。
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