[发明专利]形成氧化锌薄膜的设备和方法无效
| 申请号： | 99105939.5 | 申请日： | 1999-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN1236025A | 公开（公告）日： | 1999-11-24 |
| 发明（设计）人： | 宫镜祐介 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | C25D9/06 | 分类号： | C25D9/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 刘金辉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种通过将导电基底元件和反电极浸渍在水溶液中并向所述导电基底元件和所述反电极之间施加电流而在所述导电基底元件上形成氧化锌薄膜的设备和方法,其中(a)反电极和基底元件之间的距离在反电极的端部保持在50mm或更大,而在反电极的中部为3mm至40mm,以及(b)反电极的端部相对于导电基底元件折叠成－1°至－90°的角。因此可以在长时间内以满意的产量在导电基底元件上形成具有满意质量的氧化锌薄膜,并且可以实现低成本和稳定地生产氧化锌薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 氧化锌 薄膜 设备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种通过将导电基底元件和反电极浸渍在水溶液中并向所述导电基底元件和所述反电极之间施加电流而在所述导电基底元件上形成氧化锌薄膜的设备，其中所述反电极和所述导电基底元件之间的距离在所述反电极的端部为50mm或更大，而在所述反电极的中部为3mm至40mm。
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