[发明专利]半导体器件试验装置及半导体器件试验系统

摘要

一种半导体器件试验系统，可有效利用多台半导体器件试验装置。包括管理、控制多台半导体器件试验装置的主计算机、分类专用机，在主计算机内还设置有存储分配给试验完的半导体器件的序号及试验结果等器件收纳信息的收纳信息存储装置。在各试验装置的搬运器部不进行分类或只分两类即移送至通用托盘，试验完了后，根据收纳信息存储装置内的信息在分类专用机内进行器件的分类。

主权项

1.一种半导体器件试验系统，包括：具有试验装置部和搬运器部的半导体器件试验装置；收纳信息存储装置；分类专用机，在搬运器部的加载部，将多个被试验半导体器件从通用托盘搬送、放置在测试托盘，将所述测试托盘搬运到搬运器部的测试部，将放置于所述测试托盘中的半导体器件与配置在所述测试部的上述试验装置的测试头导电接触而测试半导体器件的工作，测试终了后，将放置有试验完的半导体器件的测试托盘从所述测试部搬出至搬运部的卸载部，在所述卸载部，将所述测试托盘的试验完的半导体器件搬运到通用托盘，将放置有试验完的半导体器件的通用托盘从搬运器部取出，其特征在于，在上述卸载部中，将试验完的半导体器件从测试托盘移送至通用托盘时，将包括每个半导体器件分配的序号、半导体器件的试验结果、以及在所述测试部用于试验的插座序号的每个半导体器件的收纳信息，在将各试验完的半导体器件收纳于各通用托盘的半导体器件收纳部时，存储于所述收纳信息存储装置，将所述存储的收纳信息送给所述分类专用机，在所述分类专用机中，根据所述试验结果，将试验完的半导体器件分类。