[发明专利]波长转换器

摘要

为获取波长为200nm或以下、重复频率高的激光束，采取下列步骤。通过转换来自激光器的波长1.06μm的激光束的波长，获得波长为532nm的二次谐波，进一步转换该激光束的波长获得波长为266nm的四次谐波，通过采用由转换上述二次谐波获得的波长532的激光束，或来自上述激光器的激光束来振荡钛蓝宝石激光器而获得波长约700nm的激光束，以及通过在激光器中的非线性晶体上混合上述激光束和波长为266nm的激光束为总和频率来获得波长约190nm的激光束。

主权项

1、一种波长转换器，其特征在于包括：第一激光器，产生第一波长的激光束；第一波长转换部分，转换来自所述第一激光器的所述第一波长的激光束的波长并通过二次谐波产生第二波长的激光束；第二波长转换部分，转换所述第二波长的激光束的波长并通过四次谐波产生第三波长的激光束；第二激光器，其上入射波长为500和550nm之间的激光束，且该第二激光器以小于所述第一波长而大于所述第二波长的第四波长振荡；以及具有非线性光学晶体的第三波长转换部件，在所述第二激光器中混合所述第三波长的激光束和所述第四波长的激光束成为总和频率，并产生波长小于所述第三波长的第五波长的激光束。