[发明专利]用于腐蚀的保护单元的方法和装置

摘要

一种保护与要腐蚀的第一区域邻近的相邻区域的方法和装置。方法包括形成基本上环绕第一区域的保护单元，但把相邻区域排除在外。保护单元由对随后在第一区域内腐蚀使用的腐蚀工艺基本上有选择腐蚀性的材料形成。形成保护单元之后，在第一区域内进行腐蚀，同时保护单元可防止在保护单元外进行相邻的腐蚀。

主权项

1.一种在衬底上保护与要腐蚀的第一区域邻近的相邻区域的方法，所述方法包括：形成一环绕所述第一区域的阱，所述相邻区域设置在所述阱外；用对随后用于腐蚀所述第一区域的腐蚀有选择性的材料填充所述阱，由此形成一保护单元；以及随后在所述第一区域内进行所述腐蚀，所述保护单元用于防止可腐蚀在所述保护单元外之所述相邻区域的腐蚀；其特征是，还包括：形成一覆盖所述第一区域和所述保护单元的帽盖层，所述帽盖层由对所述腐蚀有选择性的材料形成；以及形成一穿过所述层的孔，由此通过所述孔露出所述孔下面的部分所述第一区域。