[发明专利]用于磁控管等离子体产生装置的双面簇射头电极

摘要

提供一种在等离子体增强化学汽相淀积涂敷装置中的电极，可以提高等离子体产生涂层的效率和质量。该电极包括双簇射头面(11，11’)，并在优选方式中含有多个磁铁(13)，多个磁铁排列成使磁铁的磁极面向相同方向，由此产生用于每套磁铁的两个磁控管表面。

主权项

1.一种用于磁控管等离子体产生装置的具有簇射头结构的电极，其中簇射头包含带有管道的平面，所述管道用于使气体流通过，还包含设置有一个或多个磁铁的内部空间，气体可以被引导穿过内部空间，并流入管道，还包含用于引入气体的装置，用于将气体反应物引入内部空间并穿过平面，其特征在于，簇射头具有两个平行的平面状的面板，每个平面状的面板具有作为管道的多个孔，以及用于支撑所述面板的支撑装置，从而形成内部空间，在内部空间中设置有一个或多个磁铁，并且气体流过内部空间，其中面板、磁铁和支撑装置相互电绝缘，用于引入气体的装置使得气体流通过每个孔时流速相同，还包含对所述两个面板或其中之一提供电源的电气装置，除了多个孔和用于引入气体的所述装置以外，内部空间实质上是气密的，并且磁铁垂直于簇射头面板设置，使所有北极面向上侧面板，所有南极面向下侧面板。