[发明专利]电子束柱

摘要

一种孔眼部件(10)，包括设有用于电子束(E)的通道(12)的本体(11)和用于阻挡除穿过通道外的部分或全部电子束行进的阻挡面(15)。阻挡面(15)呈斜角，使由被阻挡的电子束或其一部分电子束产生的脱离电子偏离通道的轴(13)射出，尤其是射入由表面(15)和屏蔽部件(17)的壁限定的电子俘获空腔(21)中。壁将电子返回阻挡面(15)，再反方向返回俘获空腔(21)，因此，防止散射电子的逃脱或延迟其逃脱，直至产生充分的吸收，将其大量无损害地提供给装备该部件的电子束柱的内部环境。

主权项

1.一种电子束柱，包括壳体，设置于壳体中并可操作以产生电子束的产生装置，和至少一个为束成形或消隐的目的而设置在壳体中且位于电子束路径上的孔眼部件，该孔眼部件(10)包括设置有通道(12)和阻挡面(15)的本体(11)，该本体在至少一部分从产生装置到达的电子束(E)的给定方向上设有可穿过其行进的通道(12)，该阻挡面邻接于通道进入口(14)并在该给定方向上用于阻挡部分或所有电子束的行进，其特征在于，这样设置阻挡面(15)，使由阻挡的电子束或其部分电子束脱离的电子按偏离通道轴(13)的角度射出，该孔眼部件(10)还包括具有壁的屏蔽部件(17)，该屏蔽部件与阻挡面(15)协作，以界定用于脱离电子的俘获空腔(21)，这样排列该屏蔽部件，使电子返回阻挡面(15)，反方向返回俘获空腔(21)，其中所述阻挡面(15)被设置为在该孔眼部件相对于给定方向的上游侧，使得脱离的电子的主轴轨迹与通道轴(13)形成斜角。