[发明专利]镶嵌式抛光垫及其制造方法有效
| 申请号： | 98804962.7 | 申请日： | 1998-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN1118354C | 公开（公告）日： | 2003-08-20 |
| 发明（设计）人： | 约翰·V·H·罗伯茨;李·迈尔伯纳·库克;戴维·B·詹姆斯;海因茨·F·雷恩哈德特 | 申请（专利权）人： | 罗德尔控股公司 |
| 主分类号： | B24D11/00 | 分类号： | B24D11/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 何腾云 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种抛光垫的镶片，该镶片由于其几何形状和表面特征而可以排列形成镶嵌垫，该垫在接缝处具有沟槽，在抛光工件期间该沟槽有利于抛光流体的流动。 | ||
| 搜索关键词： | 镶嵌 抛光 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种抛光垫，用于抛光工作，该抛光垫具有相邻的镶片，该镶片具有相应的前表面及相应的后表面；该镶片还具有连接上述前、后表面的相应的周围表面；所述周围表面在相邻的镶片之间形成相应的接缝，所述抛光垫还包括：每条相应的接缝在相邻镶片的所述前表面上更宽，并且每条相庆的接缝在相邻镶片的所述后表面上更窄，由此形成沟槽，该沟槽有利于在抛光工件期间接上抛光流体。
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