[发明专利]制备香豆素磺酸酯的方法

摘要

这里公开和作为权利来要求了一种制备苯并杂环重氮二酮化合物的磺酸酯和酰胺，如取代的重氮-4-氧代-3，4-二氢香豆素的新型方法，这些化合物在各种应用包括光刻胶、光-电子、农业和药物应用中是有用的合成中间体。该方法包括以下步骤(a)让取代的苯并杂环β-酮-烯醇化合物在重氮转移剂存在下经历合适的重氮转移条件，(b)让所形成的重氮二酮化合物在卤磺化剂存在下经历合适的卤磺化条件达；和(c)让所形成的卤磺基芳族化合物在醇或胺存在下经历合适的取代反应以形成苯并杂环重氮二酮化合物的相应磺酸酯或酰胺。由本发明方法形成的化合物在深紫外(DUV)区(约250nm)中显示出非常高的光敏性和因此可用作DUV光刻胶配方中的光活性化合物。

主权项

1.制备具有IVa结构式的稠合苯并杂环重氮二酮化合物的磺酸酯或酰胺的方法，它包括以下步骤：(A)让具有下式的取代苯并杂环β-酮-烯醇化合物在重氮转移剂存在下进行重氮转移以形成相应的重氮二酮化合物：其中(a)X是氧或硫；(b)R1，R2，和R3可以相同或不同并独立地选自：氢，氟，氯，溴，或碘，具有结构式CqHxFy的直链或支链烷基和氟烷基，其中q是1-8中的整数，x和y是0至2q+1中的整数，x和y的总和是2q+1，具有6-10个碳原子的芳基，具有7-10个碳原子的芳烷基，具有1-8个碳原子的烷氧基，具有6-10个碳原子的芳氧基，和具有7-10个碳原子的芳烷氧基；(B)让该重氮二酮化合物在卤磺化剂存在下进行卤磺化反应以形成具有下式的相应卤磺基重氮二酮化合物：其中Y’是溴，氯或氟；以及(C)让该卤磺基重氮二酮化合物在醇或胺和合适的碱存在下进行取代反应以形成具有下式(IVa)的稠合苯并杂环重氮二酮化合物的相应磺酸酯或酰胺：其中Y″选自酚醛树脂和具有下式的非扩散性基团：????R4-(O)m-，或R5-(R6N)m-，其中(i)R4和R5可以相同或不同并独立地选自下面基团：具有1-16个碳原子和m价态的烷基，具有6-24个碳原子和m价态的芳基，和具有7-24个碳原子和m价态的芳烷基；(ii)R6选自：氢，具有1-16个碳原子的烷基，具有6-24个碳原子的芳基，和具有7-24个碳原子的烷芳基；和(iii)m是1-10中的整数；和n是1-10中的整数。