[实用新型]平面光栅衍射效率测试仪

摘要

本实用新型属于光学技术领域,涉及对一种平面衍射光栅的衍射效率测试仪的改进。采用二次衍射以及使用一种特殊的半反半透镜。本实用新型的优点是①彻底解决了以前仪器同步精度不易保证的难题;②解决了传统测试仪受前置单色仪分光光栅光谱范围限制的问题;③消除了传统测试仪因前置单色仪与测试单色仪色散率不匹配而产生的测量误差;④降低了机械加工精度和控制难度,简化了结构,测量速度和工作效率。

主权项

1、一种平面光栅衍射效率测试仪，它包括：照明系统1、入射狭缝2、准直镜5、成像物镜10、正弦机构11、出射狭缝12、光栅转座13、接收器14、壳体16、基座17、计算机18，其特征在于还包括：在壳体内部靠近入射狭缝2安置滤光片组3，且使入射狭缝2的入射光束通过滤光片组3，半反半透镜4安置在滤光片组3的输出端，并使半反半透镜4到入射狭缝2的距离与半反半透镜4到出射狭缝12的距离相等，在入射狭缝2入射光束的中心线上安置准直镜5，并使准直镜5的中心到入射狭缝2的距离与准直镜5的焦距相等，在准直镜5的输出光路中安装光栅转座13，被测光栅6放置在光栅转座13上，被测光栅6的衍射光与准直镜5的输入光线平行，在被测光栅6的衍射光束中安装半反半透镜7和平面反射镜8，平面反射镜9安置在平面反射镜8的输出光束中，成像物镜10安置在平面反射镜9的输出光束中，并使成像物镜10的中心到入射狭缝2的距离等于成像物镜10的焦距，调制盘15安置在半反半透镜4的反射光束中，在壳体16的侧面安装出射狭缝12，使半反半透镜4的反射光通过调制盘15和出射狭缝12进入接受器14，接受器14安装在壳体16的外部并靠近出射狭缝12。