[实用新型]分子泵抽气歧管无效
| 申请号： | 98217557.4 | 申请日： | 1998-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN2346955Y | 公开（公告）日： | 1999-11-03 |
| 发明（设计）人： | 李贵和 | 申请（专利权）人： | 深圳威士达真空系统工程有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/10 | 分类号： | F04B37/10 |
| 代理公司： | 深圳市专利服务中心 | 代理人： | 成义生 |
| 地址： | 518057 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种制备高档玻璃镀膜材料的立式镀膜室体用的分子泵抽气歧管,该歧管具有至少一个弯道,每个弯道大致成直角,歧管内设有一个沉积区,沉积区下部有一个可拆卸密封排物口。歧管包括用于卧式分子泵的“L”型、“可以有效地避免生产过程中产生的玻璃碎屑经泵的抽口落入泵中。 | ||
| 搜索关键词： | 分子 泵抽气 歧管 | ||
【主权项】：
1、一种制备高档玻璃镀膜材料的立式镀膜室体用的分子泵抽气歧管，其特征在于该歧管具有至少一个弯道，每个弯道大致成直角，歧管内设有一个沉积区，沉积区下部有一个可拆卸密封排物口。
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