[发明专利]清洗衬底的方法和清洗液有效
| 申请号： | 98125072.6 | 申请日： | 1998-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN1221810A | 公开（公告）日： | 1999-07-07 |
| 发明（设计）人： | 和气智子;青木秀充 | 申请（专利权）人： | 日本电气株式会社 |
| 主分类号： | C23G5/032 | 分类号： | C23G5/032;H01L21/302 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 穆德骏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 对其上形成有构图的金属层的衬底进行清洗的方法,包括使用具有螯合作用的清洗液从衬底上除去金属杂质的步骤。清洗液为包括具有螯合作用的羧酸的水溶液。水溶液含有水溶性羧酸、铵基羧酸和具有氨基的羧酸中的一个。水溶性羧酸为乙酸、蚁酸、柠檬酸和乙二酸中的一个。构图的金属层由过渡金属和过滤金属的化合物中的一个与Si(硅)、N(氮)和O(氧)中的一个制成。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 衬底 方法 | ||
【主权项】：
1．一种清洗其上形成有构图金属层的衬底的方法，特征在于包含使用具有螯合作用的清洗液从衬底上除去金属杂质的步骤。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日本电气株式会社，未经日本电气株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/98125072.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
