[发明专利]感光树脂组合物及使用了该组合物的感光部件无效
| 申请号: | 98123049.0 | 申请日: | 1998-12-01 |
| 公开(公告)号: | CN1111758C | 公开(公告)日: | 2003-06-18 |
| 发明(设计)人: | 高坂英治;村上滋 | 申请(专利权)人: | 日合-莫顿株式会社 |
| 主分类号: | G03F7/028 | 分类号: | G03F7/028 |
| 代理公司: | 上海专利商标事务所 | 代理人: | 章鸣玉 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 本发明提供了敏感度、粘合性、分辨率、耐电镀性、覆盖性都非常好的感光树脂组合物及使用了该组合物的感光部件。由含有羧基的聚合物(A)、分子内至少有1个以上乙烯性不饱和基的化合物(B)和光聚合引发剂(C)组成的感光树脂组合物中,作为(B)组分的至少有1个以上乙烯性不饱和基的甲基丙烯酸酯化合物(B1)占全部(B)组分的60重量%以上,且以对应于(A)组分和(B)组分合计为100重量份计,(C)组分为0.01~20重量份,以对应于(A)组分和(B)组分合计为100重量份计,作为(C)组分的洛粉碱二聚物(C1)含量为2~5重量份,三苯膦(C2)含量为0.1~2.0重量份。 | ||
| 搜索关键词: | 感光 树脂 组合 使用 部件 | ||
【主权项】:
1.感光树脂组合物,包含(A)重均分子量为10000-300000、酸值为10~500mgKOH/g的含羧基的聚合物、(B)分子内至少有1个乙烯不饱和基的化合物和(C)光聚合引发剂,化合物(B)占组分(A)和(B)重量之和的10-90%,其特征在于,组分(B)具有占组分(B)总重量的60%以上的含至少1个乙烯不饱和基的甲基丙烯酸酯(B1),以组分(A)和(B)之和为100重量份计,则组分(C)为2.1-20重量份,其中,洛粉碱二聚物(C1)为2-5重量份,三苯膦(C2)为0.1~2.0重量份;化合物(B)的分子内具有至少1个乙烯不饱和基,含下列通式(1)和/或通式(2)表示的乙烯基尿烷化合物,式中,R表示氢原子或甲基,二个R基团可以相同或不同,X表示-CH2CH2O-,Y表示-CH2-CH(CH3)-O-、-CH(CH3)-CH2-O-、-CH2CH2CH2O-或-CH2CH2CH2CH2O-,Z表示二价烃基,m、n、p和q独立地表示1-12的整数;式中,R表示氢原子或甲基,三个R基团可以相同或不同,X表示-CH2CH2O-,Y表示-CH2-CH(CH3)-O-、-CH(CH3)-CH2-O-、-CH2CH2CH2O-或-CH2CH2CH2CH2O-,Z表示二价烃基,m和p独立地表示1-12的整数。
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