[发明专利]激光等离子体参数的测量装置及其测量方法无效
| 申请号： | 98122870.4 | 申请日： | 1998-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN1079159C | 公开（公告）日： | 2002-02-13 |
| 发明（设计）人： | 邓建;徐至展;张正泉;胡雪原;钟方川;覃岭 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01T1/36 | 分类号： | G01T1/36;G01N23/207 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 李兰英 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种激光等离子体参数的测量装置及其测量方法。测量装置中激光等离子体的软X射线源的泵浦源是激光器，探测元件和单色扫描狭缝同时置放在带有自动同步控制装置的调整架上。激光器与软X射线源之间的分束镜将反射光束t射到外触发器上，同时触发存储示波器、探测元件以及自动同步控制装置同时进入工作状态。测量方法是光谱还原法，解谱方法具体有三个步骤，在数据存储器中有完整的程序包。具有结构紧凑、体积小、测量精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 等离子体 参数 测量 装置 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种激光等离子体参数的测量装置，含有：.由外壳(7)的头部(23)与置有软X射线源(5)的真空靶室(4)的窗口密封连接构成的真空密封室(8)，在真空密封室(8)内置有悬挂式导轨(6)，在悬挂式导轨(6)上置有调整架(9)、(10)、(11)；.在真空密封室(8)内，沿着软X射线源(5)发射的软X射线束S前进的方向上，依次置有矩形光阑(22)、置于调整架(9)上的轮胎反射镜(20)、置于调整架(10)上的光栅(19)、置于调整架(11)上的探测元件(17)；.探测元件(17)的输出联有信号放大器(16)，信号放大器(16)的输出经过存储示波器(15)与数据存储器(14)相联；其特征在于：.作为真空靶室(4)内的软X射线源(5)的泵浦源是激光器(1)；.沿激光器(1)发射的激光束G前进的方向上，依次置有会聚透镜(2)和分束镜(3)；.经分束镜(3)的透射光束t会聚到真空靶室(4)内的软X射线源(5)上、经分束镜(3)的反射光束f会聚到外触发器(21)上；.外触发器(21)与存储示波器(15)相联，存储示波器(15)分别与探测元件(17)相联的信号放大器(16)和与位移传感器(13)相联的数据存储器(14)相联；.调整架(11)带有自动同步控制装置(12)，自动同步控制装置(12)与位移传感器(13)相联，置于调整架(11)上，探测元件(17)之前还有单色扫描狭缝(18)。
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