[发明专利]溅射镀膜装置无效
| 申请号： | 98119253.X | 申请日： | 1998-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN1217390A | 公开（公告）日： | 1999-05-26 |
| 发明（设计）人： | R·谢尔特勒 | 申请（专利权）人： | 巴尔策斯有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 崔幼平,林道棠 |
| 地址： | 列支敦士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于圆片形工件的溅射镀膜装置,它包含一个闸室(3),一个溅射源(7),一个运输室(1),一个运输机构(13),其特征在于闸室和溅射源(7)的作用面(7a),彼此对峙,运输机构(13)可以被回转驱动地安置在运输室(1)中,而且包含可径向移出及缩回的承载臂(19),在该承载臂一端有工件承接件(21)。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
1．用于工圆片形工件的溅射镀膜装置，它包含：-一个闸室(3)，-一个具有作用面(7a)的溅射源(7)，-一个运输室(1)，它分别具有连通闸室(3)和溅射源(7)的开口(30,50)，用于运输或运送工件(23)进入并离开溅射位置，-一个运输机构(13)，在运输室(1)中用来在上述开口之间运送工件，其特征在于：闸室和溅射源(7)的作用面(7a)，跨过运输室(1)，沿着相关的横轴线(Q)彼此处于对峙位置，运输机构(13)绕与一个与所述横轴线(Q)限定一平面(E)并与横轴线(Q)相垂直的回转轴(A)可以被回转地安置在运输室(1)中，而且至少包含一个可依回转轴(A1)径向移出及缩回的承载臂(19)，在该承载臂背向回转轴(A1)的一端上配有一个工件承接件(21)。
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