[发明专利]一种光学接触式测量方法和使用该方法的微型三维测头无效
| 申请号： | 98115367.4 | 申请日： | 1998-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN1204046A | 公开（公告）日： | 1999-01-06 |
| 发明（设计）人： | 吉贵军 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 天津大学专利代理事务所 | 代理人： | 张锐 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明是集光学方法测量及机械接触方法测量的可靠性和单一性于一体的光学接触式测量方法和利用该方法的微型三维测头,用于微米尺度微小型工件的测量。该测头的优点是测力小(小于50μN),且“测杆”的弹性、塑性变性和迟滞效应不会引触测不确定误差。该发明的特征是通过光学成像系统和CCD摄像机确定被照明微型触测球体的球心坐标,光纤测杆三维触测适应性的优化几何结构,触测球体在光轴方法上离焦距离的测量方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 接触 测量方法 使用 方法 微型 三维 | ||
【主权项】：
1．一种光学接触式测量方法，其特征是：结合光学非接触法和机械接触法于一体利用光学成像透镜(1)和CCD摄像机(2)确定触测球体(4)的球心坐标，传光光纤(3)做为“测杆)置于(1)的光轴上，在(3)的端部是微型触测球体(4)，(4)被调整到(1)焦平面内，并通过光纤另一端的冷源(5)照明，由(4)漫反射回来的光经(1)在像平面的(2)上形成亮光斑，同时(4)的像经分光镜(7)和离焦器件(8)成在离焦检测元件(9)上，则(4)触测工件(6)时触测球体球心在焦平面内的坐标可由在(2)上亮光斑的中心位置给出。
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