[发明专利]复合压力传感器无效
| 申请号： | 98114329.6 | 申请日： | 1998-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN1248696A | 公开（公告）日： | 2000-03-29 |
| 发明（设计）人： | 丁文武 | 申请（专利权）人： | 沈阳信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01D5/16 | 分类号： | G01D5/16 |
| 代理公司： | 沈阳市专利事务所 | 代理人： | 赵英杰 |
| 地址： | 110001 *** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种复合压力传感器,它包括基体,用于测量静压的敏感电阻Rg1,Rg2,Rg3和Rg4,用于测量静压的敏感电阻Rs1,Rs2,Rs3和Rs4,温度敏电阻Rt和膜片,在基体上设置了一多边双岛形的凹槽和两个方形的凹槽,其中用于测量静压的敏感电阻Rs3布置在方形凹槽的中线,Rs1布置在另外方形凹槽的边缘,用于测量差压的敏感电阻Rg1,Rg2,Rg3和Rg4布置在多边双岛形的凹槽的凸台上。本实用新型由于采用了双岛三杯结构,所以当双面受力时双岛膜片受到的合力为零,当单面受力时,压力全部作用于Rs1和Rs3这两个绝压元件上,整个器件具有对差压和压力进行测量的作用,可以实现微差压,高静压的精确测量,具有非线性补偿好和小电流,高灵敏度的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 压力传感器 | ||
【主权项】：
1，一种复合压力传感器，它包括基体，用于测量静压的敏感电阻Rg1，Rg2，Rg3和Rg4，用于测量静压的敏感电阻Rs1，Rs2，Rs3和Rs4，温度敏电阻Rt和膜片，在基体上设置了一多边双岛形的槽和两个方形的凹槽，其中用于测量静压的敏感电阻Rs3布置在方形凹槽的中线，Rs1布置在另外方形凹槽的边缘，用于测量差压的敏感电阻Rg1，Rg2，Rg3和Rg4布置在多边双岛形的凹槽的凸台上
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