[发明专利]测试及老化装置,使用该装置的串联系统,及测试方法无效
| 申请号： | 98102248.0 | 申请日： | 1998-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN1221112A | 公开（公告）日： | 1999-06-30 |
| 发明（设计）人： | 孟柱石 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 谢丽娜 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于测试半导体器件的装置,其允许在相同的阶段进行包括老化在内的多种测试。该装置采用相同的测试托盘,其每个中分别装有多个器件,在多种测试之间不用将其装入到器件托盘或取下,从而使得装置可以占用更少的空间。由这些装置可构成一个串联系统并在所有的测试完后提供一种单独的分检步骤。另外,提供了一种用于测试这些器件的方法。在该方法中,通过利用对应于该测试托盘的测试托盘映射表减少了测试步骤、时间、及空间。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 老化 装置 使用 串联 系统 方法 | ||
【主权项】：
1．一种测试及老化装置，其特征在于包括：至少一条用于运送一组测试托盘的导轨，所述的每个测试托盘用于盛放一组半导体器件；至少一个用于将所述多个测试托盘装到所述导轨上的装载器；至少一个用于将所述测试托盘从导轨上卸下来的卸载器；至少一个测试箱，其中所述导轨从中穿过使得当位于所述导轨上的所述测试托盘被送到所述测试箱时，可以使装在测试托盘中的多个半导体器件接受测试或/和老化处理；装在所述测试箱中的一组测试头，其中所述测试头分别对应于在所述测试箱中的所述测试盘中相应的一个，并与所述测试箱中的所述测试托盘中相应的一个电连接，以进行对所述半导体器件的测试或/和老化处理。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星电子株式会社，未经三星电子株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/98102248.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：商品结对带
- 下一篇：用来补救可液化的土壤的液化作用的装置和方法
