[发明专利]导衬的内周面上形成的硬质碳膜的剥离方法无效
| 申请号： | 97191299.8 | 申请日： | 1997-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN1116451C | 公开（公告）日： | 2003-07-30 |
| 发明（设计）人： | 杉山修;宫行男;小池龙太;户井田孝志;关根敏一 | 申请（专利权）人： | 时至准钟表股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/04 | 分类号： | C30B29/04;C30B33/12;C23C16/26;C01B31/02;B23B13/12;B23Q3/12 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 隗永良 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在将辅助电极(71)插入到与被加工物相滑动接触的内周面上形成有硬质碳膜(15)的导衬(11)的中心开口(11j)内的状态下，将该导衬(11)配置在内部备有阳极(79)和白热丝(81)的真空槽(61)内，将辅助电极(71)接地或对其加上直流正电压，在将真空槽(61)内排气后，将含氧的气体导入，通过将直流电压加在导衬(11)上，同时分别将直流电压加在阳极(79)上，而将交流电压加在白热丝(81)上，使真空槽(61)内产生等离子体，从而将上述硬质碳膜(15)从导衬(11)的内周面上刻蚀除去。 | ||
| 搜索关键词： | 面上 形成 硬质 剥离 方法 | ||
【主权项】：
1.导衬的内周面上所形成的硬质碳膜的剥离方法，其特征在于：在将辅助电极插入到与被加工物相滑动接触的内周面上形成有硬质碳膜的导衬的中心开口内的状态下，将该导衬配置在真空槽内，将上述辅助电极接地或对其加上直流正电压，在将上述真空槽内排气后，将含氧的气体导入该真空槽内，使在上述真空槽内产生等离子体，从而将上述硬质碳膜从该导衬的内周面上刻蚀除去；作为产生等离子的方法，是将该导衬配置在内部备有阳极和白热丝的真空槽内，通过将直流电压加在上述导衬上，同时分别将直流电压加在上述阳极上，将交流电压加在白热丝上以产生等离子体，或者通过将直流电压或者高频电力加在上述导衬上以产生等离子体。
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