[发明专利]振动陀螺传感器,复合传感器及制造振动传感器的方法

摘要

一种振动陀螺传感器构成如下。即,一个检测压电/电致伸缩元件12形成于一检测部分上,所述检测压电/电致伸缩元件12检测当振动器2被振动时,在垂直于振动器2的振动方向的方向上的位移。所述检测部分和振动器2及座基4一起由陶瓷的整体焙烧产品组成。所述检测部分由比振动器2薄得多,并且其主要表面沿振动方向伸展的第一板形部分6构成。所述压电/电致伸缩元件12根据薄膜形成方法以整体方式形成于所述第一板形部分6上。

主权项

1.一种振动陀螺传感器，它包含至少一个或多个受到由至少一个或多个驱动装置产生的激励振动的振动器，一个在所述振动器近末端处支承所述振动器的座基，及至少一个或多个检测部分，所述检测部分包括至少一个或多个用于当所述振动器被旋转时，检测在垂直于所述振动器振动方向的方向上产生的位移的检测压电/电致伸缩元件，所述振动陀螺传感器包括：和所述振动器及所述座基一起由陶瓷的整体焙烧产品组成的所述检测部分，所述检测部分由比所述振动器薄得多，并且其主要表面沿所述振动方向伸展的第一板形部分构成；根据薄膜形成方法以整体方式形成于所述第一板形部分上的所述检测压电/电致伸缩元件；及用于降低所述振动方向上的刚度及促进所述振动的至少一个或多个薄壁第二板形部分，所述第二板形部分以整体方式为所述振动器而提供，使得其主要表面沿垂直于所述振动方向的方向伸展。