[发明专利]用劳埃德镜写光敏光栅的方法无效
| 申请号： | 97190021.3 | 申请日： | 1997-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN1178011A | 公开（公告）日： | 1998-04-01 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·A·库克;罗伯特·A·摩达维斯 | 申请（专利权）人： | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/34 | 分类号： | G02B6/34;C03B37/023 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 钱慰民 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在波导中形成折射率光栅的设备包括一根波导,当曝光时其构造材料会改变其折射率;相干光辐射的光源,用于形成辐射光束;反射镜,用于截取光束的第一部分,并反射第一部分;相位延迟板,用于截取光束的第二部分,使通过该板传播的第二部分延迟。其中反射镜和相位延迟板的布置使得经反射的光束第一部分和经延迟的光束第二部分在波导上形成一干涉图案,以在用以形成折射率光栅的对应干涉图案中改变波导折射率。 | ||
| 搜索关键词： | 用劳埃德镜写 光敏 光栅 方法 | ||
【主权项】：
1.一种在波导中形成折射率光栅的方法，其特征在于，包括以下步骤：将所述波导定位在反射镜的一侧边缘；使一束相干的光辐射的第一部分以第一角度入射到所述反射镜上，并使该束相干的光辐射的第二部分入射到光的相位延迟板上；将所述第一和第二部分合并成一束干涉光束，并将所述干涉光束入射到所述波导上，以在所述波导中形成一个光栅。
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