[发明专利]含酰胺或酰亚胺的新颖共聚物,其制法,及含该共聚物的抗光蚀剂无效
| 申请号： | 97126349.3 | 申请日： | 1997-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN1187496A | 公开（公告）日： | 1998-07-15 |
| 发明（设计）人： | 郑载昌;卢致亨 | 申请（专利权）人： | 现代电子产业株式会社 |
| 主分类号： | C08F32/00 | 分类号： | C08F32/00;C08F122/36;G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 白益华 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种可用于抗光蚀剂的新颖共聚物,其是由共聚合至少两种环脂肪族的烯烃与一种酰胺或酰亚胺所制备而得,而包含该共聚物的抗光蚀剂,在使用氟化氩(193纳米)光源的一种光石版印刷术中,可形成一种解析度得到很大改进的图案。 | ||
| 搜索关键词： | 含酰胺 亚胺 新颖 共聚物 制法 抗光蚀剂 | ||
【主权项】：
1.一种用于抗光蚀剂的共聚物，它是由至少两种环脂肪族的烯烃，及一种酰胺或酰亚胺所制备而得。
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