[发明专利]图形检测方法及其装置无效
| 申请号： | 97121412.3 | 申请日： | 1997-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN1160660C | 公开（公告）日： | 2004-08-04 |
| 发明（设计）人： | 广井高志;田中麻纪;渡辺正浩;久迩朝宏;品田博之;野副真理;杉本有俊;宍户千绘 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立制作所 |
| 主分类号： | G06K11/00 | 分类号： | G06K11/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 叶恺东;王忠忠 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了一种图形检测方法和装置，该方法和装置在对于具有二维多重设置性的位置和仅具有沿X方向、Y方向的重复性的部分混合在一起的图形，作为若干个对象物进行检测中，简单的进行坐标指定即可检测出缺陷，对着眼点(101)和只离开重复的诸如102a～102d的比较点进行十字形比较，将与任何一个都不相同的部分作为候选缺陷选取出来，这样便可以通过对具有二维重复部分、具有沿X方向或Y方向的重复性的位置进行检测的将孤立点等的沿X方向和Y方向不具有重复性的部分作为候选缺陷选取出来。 | ||
| 搜索关键词： | 图形 检测 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1.一种图形检测方法，用于检测形成有由存储器板和直接周边电路构成的重覆图形的半导体晶片，其特征在于：对形成在上述半导体晶片上的重覆图形进行摄象以获得该重覆图形的二维数字图象信号，将该二维数字图象信号中的前述半导体晶片上的应检测的重覆图形的数字图象信号、与该应检测的重覆图形相邻的多个重覆的图形的图象信号分别进行比较以抽取出缺陷，并将有关该抽取出的缺陷的信息输出至通信电路。
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