[发明专利]酯型光敏聚酰亚胺的制备方法无效
| 申请号： | 97105274.3 | 申请日： | 1997-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN1072238C | 公开（公告）日： | 2001-10-03 |
| 发明（设计）人： | 候豪情;李悦生;丁孟贤 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春应用化学研究所 |
| 主分类号： | C08G73/10 | 分类号： | C08G73/10 |
| 代理公司： | 中国科学院长春专利事务所 | 代理人： | 曹桂珍 |
| 地址： | 130022 *** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明属于酯型光敏聚酰亚胺（ＰＳＰＩ）的合成方法。$本发明以芳香族四酸二酐和光敏醇为原料，经开环酯化、酰氯化、加适量二元胺低聚化形成界面缩聚反应的有机相，以水溶性二胺和氯化氢吸收剂的水溶液为另外一相，通过两相间的界面缩聚反应合成酯型光敏聚酰亚胺。用这种树脂配制的聚酰亚胺光刻胶对紫外光、Ｘ－光都有很高的灵敏度和分辨率；对各种衬底均有良好的粘结性能。这种高性能的光刻胶可用于制作集成电路和微机械等现代高技术领域。$＃! | ||
| 搜索关键词： | 光敏 聚酰亚胺 制备 方法 | ||
【主权项】：
1．一种酯型光敏聚酰亚胺(PsPI)的合成方法，其特征在于采用下列组分进行反应合成酯型高性能感光树脂：(1)芳香性四酸二酐(2)水溶性苯二胺??????????????????????H2N-R-NH2(3)芳香二胺或硅氧烷二胺??????????????????????H2N-R-NH2(4)光敏性醇使用的芳香性四酸二酐可以是单一的，也可以是由二种或二种以上二酐的混合物；溶剂为N-甲基吡咯烷酮、N,N-二甲基乙酰胺、N,N-二甲基甲酰胺、二甲基亚砜、六甲基磷酰三胺、环丁砜、二氧六环、甲苯、二甲苯、苯、二氯甲烷、氯仿和水；氯化氢吸收剂为氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钾、碳酸钠、三乙胺、三乙醇胺、N,N-二甲基二醇胺、N-甲基二乙醇胺和吡啶。
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