[实用新型]高温扩散炉保温器无效

专利信息
申请号: 96235504.6 申请日: 1996-01-09
公开(公告)号: CN2260385Y 公开(公告)日: 1997-08-20
发明(设计)人: 毕春生;周忠林;柳凯清;乔玉庆 申请(专利权)人: 毕春生
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02
代理公司: 陕西省发明专利服务中心 代理人: 李中群
地址: 044500 山*** 国省代码: 山西;14
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摘要: 实用新型为一种用于高温扩散炉的保温器,它具有一个由石英材料制作的侧剖视面为U型的塞套,在塞套内设有一个由保温塞芯。工作中,将保温器置放在石英管的开口端内,可降低炉体开口端副控区的温度,延长炉膛恒温区长度进而提高炉体的工作性能以及加工产品的质量。
搜索关键词: 高温 扩散 保温
【主权项】:
1、一种高温扩散炉保温器,其特征在于具有一个由石英材料制作的侧剖视面为U型的塞套(1),在塞套(1)内设有一个由保温材料制成的保温塞芯(2)。
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