[实用新型]一种新型结构高纯臭氧装置

摘要

本实用新型涉及薄膜制备技术领域，特别是涉及制备氧化物膜中提供高纯臭氧的装置。本实用新型的目的在于解决用干冰作冷却源存储困难、成本高和不安全的问题，从而提供一种有臭氧发生器、装有硅胶的容器、充满热交换介质的杜瓦瓶和充满液氮的热交换器，容器的进口与臭氧发生器相连，出气口与带有阀门的出气管相通，容器与热交换气一并放在杜瓦瓶内组成新型结构高纯臭氧装置。其优点在于由于不用干冰作冷却源使装置简化和体积变小，控温方便，使用安全。

主权项

1.一种由氧气瓶1、臭氧发生器11、内装热交换介质的杜瓦瓶15、装有硅胶的容器14、阀门5、6、10和吸附泵20以及催化器21组成的高纯臭氧装置，其特点在于：臭氧发生器11与装有硅胶的容器14的进气口相通，容器14侵泡在充满热交换介质的杜瓦瓶15内，热交换器16内充满液氮放在杜瓦瓶15内，容器14的出气口与带阀门6和10的管子相连，阀门6又与连接吸附泵20的催化器21相连，容器的进气口通过带有控制阀5的管道与臭氧发生器11相连，臭氧发生器11通过阀门3的管道与氧气瓶1相连接。