[实用新型]电感耦合等离子体激发光源

摘要

一种电感耦合等离子体激发光源，它包括箱体、半饱和电抗器、高频振荡电路、电流反馈取样电路、晶闸管控制整流电路等，其中，高频振荡电路中的振荡槽路是采用了电感L1先串接一电容C0，再并联一可变电容C1来提高频率至40.68兆赫，调节三极管栅极回路可变电阻来改变振荡强度，振荡电路采用高稳定器件，频率稳定度＜0.1％，在主回路负极至地串一电阻，取电流反馈来控制电抗器的输入以稳定功率输出，输出功率稳定度＜0.5％。

主权项

1、一种电感耦合等离子体激发光源，它包括箱体、电子电路，其特征在于所述的电子电路包括：半饱和电抗器、升压整流滤波电路、高频振荡电路、电流反馈取样电路、基准电压电路低压稳压电源、放大器、晶闸管触发电路、晶闸管控制整流电路，其中：(1)高频振荡电路包括：三极管、经电容C2耦合的振荡槽路C0、C1、L1以及正反馈线圈L2，其中C0与L1串接，C1与C0、L1并接，L2还串接电阻R1、可变电阻R2；(2)电流反馈取样电路包括：串接在主回路负极至地之间的电阻R8，以及并联在R8的一条回路，该回路包括电阻R10、R23电感L8；(3)晶闸管控制整流电路及半饱和电控器包括：受脉冲变压器控制的晶闸管、二极管D3、全波整流D2以及接在直流回路中饱和电抗器T4、T5的直流绕组，该绕组头头相接、电抗器交流绕组为头尾相接，并串接在电源变压器T1的输入回路。