[发明专利]无高温蒸馏酚醛清漆树脂分离法和光刻胶组合物无效
| 申请号： | 96198863.0 | 申请日： | 1996-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN1137176C | 公开（公告）日： | 2004-02-04 |
| 发明（设计）人： | M·D·拉赫曼;卢炳宏 | 申请（专利权）人： | 克拉里安特国际有限公司 |
| 主分类号： | C08G8/08 | 分类号： | C08G8/08;G03F7/023 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 黄泽雄 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 本发明提供不需高温蒸馏以分离不溶于水但溶于碱水溶液的分子量一致、性能优越的酚醛清漆树脂生产方法。也提供从这种酚醛清漆树脂生产光刻胶组合物的方法和用这种光刻胶组合物生产半导体装置的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 高温 蒸馏 酚醛 清漆 树脂 分离法 光刻 组合 | ||
【主权项】：
1.一种生产不溶于水但溶于碱水溶液的酚醛清漆树脂的方法，该方法包括：a)在酸催化剂存在下将甲醛与一种或多种酚型化合物进行缩合，缩合反应完全后加入水溶性溶剂；b)加水沉淀步骤a)的缩合产物并除去水溶性溶剂/水溶液中的未反应的酚型化合物和低聚物，由此除去了液体中的未反应的酚型化合物和低聚物；c)将步骤(b)的沉淀溶解于酚醛清漆树脂溶剂中并除去残留的水，由此得到不溶于水但溶于碱水溶液的成膜酚醛清漆树脂，所述酚醛清漆树脂溶剂选自丙二醇甲醚乙酸酯、2-庚酮、乳酸乙酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙酸丁酯、二甲苯、二甘醇二甲醚和乙二醇单乙醚乙酸酯。
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