[发明专利]酚甲醛缩合物的分馏和由其生产的光敏抗蚀剂组合物

摘要

一种通过分馏酚甲醛缩合产物生产金属离子含量低、不溶于水、溶于碱水的成膜酚醛清漆树脂的方法，生产含有这种酚醛清漆树脂的光敏抗蚀剂组合物的方法，及用这种光敏抗蚀剂组合物生产半导体元件的方法。

主权项

1.一种生产金属离子含量低、不溶于水、溶于碱水的成膜酚醛清漆树脂的方法，所述方法主要由以下步骤组成：A)提供10至40％重不溶于水、溶于碱水的成膜酚醛清漆树脂在极性有机溶剂中的溶液；B)通过规格小于1微米的过滤器过滤所述酚醛清漆树脂溶液；C)使所述酚醛清漆树脂溶液通过阴离子交换树脂；D)使所述酚醛清漆树脂溶液通过阳离子交换树脂；E)调节酚醛清漆树脂溶液的温度到20℃至35℃。F)加入10％至60％重的去离子水；G)搅拌所述酚醛清漆树脂溶液/水混合物至少30分钟；H)让混合物放置至少5分钟；I)除去至少55％重的水和极性有机溶剂；J)加入40至65％重的适合的光敏抗蚀剂溶剂；K)在真空下，在90℃至130℃的温度下，和在50mm至120mm的压力下，蒸出基本上所有残余的水和极性有机溶剂；L)冷却剩余的酚醛清漆树脂溶液至25℃至45℃；M)通过规格小于1微米的过滤器过滤所述酚醛清漆树脂溶液。