[发明专利]平面衍射光栅光阀无效
| 申请号： | 96194557.5 | 申请日： | 1996-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN1158546C | 公开（公告）日： | 2004-07-21 |
| 发明（设计）人： | D·M·布鲁姆;D·B·科尔宾;W·C·班亚;B·P;斯塔克尔 | 申请（专利权）人： | 硅光机器公司 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G02B26/08;G02F1/01 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王勇;萧掬昌 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 衍射光栅光阀调制入射光束。有多个细长部件，每个具有反射表面。细长部件以其各自端部悬浮，基本上共面。交替的细长部件被电耦合，以接收第一偏压。与之成插指状的细长部件电耦合，以接收第二偏压。通过施加第一和第二偏压，所有的反射平面可以保持在第一平面内。当所有细长部件位于第一平面内时，衍射光栅光阀反射该光束。一些预定的细长部件，最好是交替的，可以变形，以在平行于第一平面的第二平面内基本共面。当所述预定的细长部件组位于第二平面内时，衍射光栅光阀衍射光束。 | ||
| 搜索关键词： | 平面 衍射 光栅 | ||
【主权项】：
1.一个用于调制入射光束的调制器，包括：a.多个细长部件(318)，每个细长部件具有一个第一端和一个第二端以及一个光反射平面表面(308)，其中各细长部件被组合成第一组和第二组，使得第一组的各个部件和第二组的各个细长部件成插指状，各个细长部件彼此平行放置；b.使第一组和第二组的各个细长部件(318)在端部悬置的悬置装置；c.使第一组的各个细长部件电耦合在一起的装置；d.使第二组的各个细长部件电耦合在一起的装置；e.将第一偏置电压加至第一组的偏压施加装置和将第二偏置电压加至第二组的偏压施加装置，使得各光反射平面表面(308)基本上共面且在第一平面内使得入射光束被反射；以及f.用于选择性地使第一组的各个部件垂直于第一平面向第二平面偏移、使得入射光束被衍射的偏移装置，这里第二平面平行于第一平面。
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