[发明专利]离子束角度可调整的离子注入机

摘要

一种离子束角度可调整的离子注入机，它包括将注入的气体分解为等离子状态的离子源；对所需离子进行分离的磁分析器；对分选出的注入离子加速的加速器；为在晶片整个面上均匀地注入加速的离子的扫描器；位于扫描器与晶片之间的法拉第盒，其与用于测量注入晶片的离子注入量的电流计连接，并包括用于调整通过法拉第盒的离子束角度的装置，可望减少LDD工艺时间和节约原材料，并能改善元件的电性能。

主权项

1.一种离子束角度可调整的离子注入机，其特征在于，包括：将从外部气体管道注入的气体分解为等离子状态的离子源；对分解为等离子状态的各种原子中的所需要的离子进行分离的磁分析器；对分离的注入离子加速，使其具有需要的能量的加速器；为在晶片整个面上均匀地注入加速的离子而进行扫描的扫描器；位于扫描器与晶片之间的法拉第盒，其与用于测量注入的晶片离子注入量的电流计连接；以及用于调整通过法拉第盒的离子束角度的装置，该离子束角度调整装置包括：设在法拉第盒端部的磁铁，数据输入装置，控制器和驱动器，其中数据输入装置用于输入按工艺要求的离子束法线角，并将与所述离子束法线角相对应的信号输出给控制器；控制器根据来自数据输入装置的信号设定工艺条件并向驱动器输出相应控制信号；驱动器对控制器信号和加速器的电压反馈信号进行组合，决定在工艺中需要的磁铁的磁场强度大小；随后，被驱动器驱动的磁铁对通过的离子束外加磁场以改变离子束扫描角。