[发明专利]新型可燃气检测元件及其制造方法无效
| 申请号： | 96116512.X | 申请日： | 1996-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN1049978C | 公开（公告）日： | 2000-03-01 |
| 发明（设计）人： | 董华霞;叶芃生 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01N27/16 | 分类号： | G01N27/16;H01L49/00 |
| 代理公司： | 上海交通大学专利事务所 | 代理人： | 毛翠莹 |
| 地址： | 200030*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种可燃气检测元件及其制造方法，利用BN、MgO、BaO、Al2O3、Si3N4、BeO等氧化物或氮化物的一种取代传统平面工艺中铂膜电阻与硅基片间的钛过渡层，能大幅度提高平面元件零点的稳定性；该方法还通过在原有催化剂铂系金属的基础上再添加至少一种铂系其他元素的氧化物，以显著提高元件抗Ｈ2S的中毒能力，从而使平面型载体催化可燃气体检测元件达到实用水平。 | ||
| 搜索关键词： | 新型 燃气 检测 元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种可燃气检测元件，由基片1、铂膜电阻2，铂膜电阻两端引线孔3、基片与铂膜电阻间的过渡层4、铂膜上方外侧致密隔离层5与引线孔3相连的引线6、载体7以及催化剂8等构成，基片1通过引线6与固定在管座上的管脚相连，以构成完整的元件，其特征在于基片1与铂膜电阻2之间的过渡层4由周期表中IIIA族或IVA族元素的氧化物或氮化物构成，催化剂除铂系金属8以外至少还添加一种抗中毒作用的铂系其他元素的氧化物9。
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