[实用新型]一种高频感应加热化学反应腔装置无效
申请号: | 95229114.2 | 申请日: | 1995-12-20 |
公开(公告)号: | CN2249757Y | 公开(公告)日: | 1997-03-19 |
发明(设计)人: | 段树坤 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | C23C16/46 | 分类号: | C23C16/46 |
代理公司: | 中科专利代理有限责任公司 | 代理人: | 卢纪,齐晓寰 |
地址: | 1000*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种高频感应加热的化学反应腔装置,具有由内外套设的外层套管和内反应管,一加热载体设置于内反应管的管内中段。在内反应管外壁和外层套管内壁之间的空腔内位于加热载体下方位置处局部设置隔热板,以减少加热载体向管外的热辐射,从而提高加热载体的工作温度。而在加热载体上方位置的内反应管管壁温度要低于加热载体的温度,使得该装置具有冷壁反应装置的特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 高频 感应 加热 化学反应 装置 | ||
【主权项】:
1、一种高频感应加热反应腔装置,具有内外套设的外层套管与内反应管,并有一加热载体设置于内反应管的管内中段,其特征在于,在外层套管和内反应管之间的空腔内局部设置一块隔热板。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的