[实用新型]一种高频感应加热化学反应腔装置无效

专利信息
申请号: 95229114.2 申请日: 1995-12-20
公开(公告)号: CN2249757Y 公开(公告)日: 1997-03-19
发明(设计)人: 段树坤 申请(专利权)人: 中国科学院半导体研究所
主分类号: C23C16/46 分类号: C23C16/46
代理公司: 中科专利代理有限责任公司 代理人: 卢纪,齐晓寰
地址: 1000*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种高频感应加热的化学反应腔装置,具有由内外套设的外层套管和内反应管,一加热载体设置于内反应管的管内中段。在内反应管外壁和外层套管内壁之间的空腔内位于加热载体下方位置处局部设置隔热板,以减少加热载体向管外的热辐射,从而提高加热载体的工作温度。而在加热载体上方位置的内反应管管壁温度要低于加热载体的温度,使得该装置具有冷壁反应装置的特点。
搜索关键词: 一种 高频 感应 加热 化学反应 装置
【主权项】:
1、一种高频感应加热反应腔装置,具有内外套设的外层套管与内反应管,并有一加热载体设置于内反应管的管内中段,其特征在于,在外层套管和内反应管之间的空腔内局部设置一块隔热板。
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