[发明专利]基片盒和对接系统

摘要

一种组合式的可传送盒子，用于储存基片例如半导体切片、平板显示板和掩膜，还用于将上述基片保存在很清洁的环境中。基片采用许多梳状件（２０６，１９８）支承在盒子内，该梳状件彼此间隔开的保存基片。通过可转动的门组件（１１８）可以出入盒的内部。对接单元可使盒子与清洁环境对接。在对接单元内的控制线路可以检测盒子的存在，主计算机通过通信链路可以引导盒子的装／卸。存储器件（１０３）最好装在盒子上，用于储存盒子中基片的历史和其它信息。主计算机指导控制线路检索存储器（１０３）中的基片信息并将该信息传递给主计算机。在处理基片期间或之后主计算机根据要求更新存储器（１０３）。这样，主计算机便控制和跟踪一个或多个对接单元和有关的基片盒。

主权项

1.一种用于容纳许多基片的盒子，包括：具有内部空间和一开口的容器；许多装在上述容器中的基片支架，用于在上述内部空间中装放和支承上述许多基片，并使上述许多基片中的各基片互相隔开一定距离；以及安装于上述容器上的门组件；其特征在于：上述门组件是可转动并可收缩地安装于上述容器上的。