[发明专利]改进型抛光衬垫和它们的应用方法

摘要

本发明提供一种由固态均匀聚合物薄片（５）组成的改进型抛光衬垫。上述薄片没有本征的吸收或输送研浆颗粒的能力，在应用期间有表面纹理或图形。它们具有同时存在的大（７）小（６）流通通路。这两种通路允许穿越抛光衬垫表面输送研浆。其中上述通路并不是材料构成的一部分而是用机械性方法制作到衬垫表面上的。在本发明的一个最佳形式中，衬垫纹理由粗纹理和细纹理组成。粗纹理在使用之前制作，细纹理则在衬垫使用期间在一个固定的经过选择的工作间隔用许多小的研磨尖状物进行研磨制作的。

主权项

1．一种改进型抛光衬垫，它由固态均匀聚合物薄片组成，该聚合物薄片没有本征的吸收或输送研浆颗粒的能力，上述薄片在使用时具有由大小流通通路构成的表面纹理或图形，该二种大小流通通路一起允许穿过抛光衬垫表面输运含有颗粒的抛光研浆，所说表面纹理是由外部手段在上述固态均匀聚合物薄片上单独制作的。