[发明专利]氦气检漏装置无效

专利信息
申请号: 95111434.4 申请日: 1995-07-17
公开(公告)号: CN1049049C 公开(公告)日: 2000-02-02
发明(设计)人: 张果;李树 申请(专利权)人: 成都东方仪器厂
主分类号: G01M3/20 分类号: G01M3/20
代理公司: 四川省专利服务中心 代理人: 冯忠亮
地址: 610072 四川*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明由真空箱检漏装置,充氦回收装置,氦质谱检漏仪组成。真空箱检漏装置由抽空装置7,真空箱2组成,充氦回收装置由抽空装置3,充氦装置4,回收装置5,贮存装置6组成。被检件位于真空箱2内,与抽空装置3连接,充氦装置4与真空被检件1连接,另一路通过回收位置5与被检件1连接,真空箱2与抽空装置7连接,并与氦质谱检漏仪9连接。
搜索关键词: 氦气 检漏 装置
【主权项】:
1、氦气检漏装置,其特征在于由真空箱检漏装置,充氦回收装置,氦质谱检漏仪组成,真空箱检漏装置由抽空装置(7)和真空箱(2)组成,充氦回收装置由抽空装置(3),充氦装置(4),回收装置(5),贮存装置(6)组成,被检件(1)与抽空装置(3)连接,存贮装置(6)一路通过充氦装置(4)与被检件(1)连接,另一路通过回收装置(5)与被检件(1)连接,真空箱(2)与抽空装置(7)连接,氦质谱检漏仪(9)有吸枪(11),真空箱(2)为两个,通过管道网络与上述装置连接。
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