[发明专利]真空泵无效
| 申请号： | 95106202.6 | 申请日： | 1995-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN1143166A | 公开（公告）日： | 1997-02-19 |
| 发明（设计）人： | 池本义宽;丸山照雄 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | F04C25/00 | 分类号： | F04C25/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 张民华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的是在排气速度保持不变的情况下提高高真空泵的性能。通过两个不同外径且外圆周面上分别开有螺旋槽8、9的转子6、7的组合，并把高真空泵装设在小直径转子7的轴2上，以提高高真空泵的性能和控制稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 | ||
【主权项】：
1.一种真空泵，其特征在于，在泵体内装有多个不同外径的转子以及与各个转子一体化了的回转轴，对这些回转轴分别独立进行回转驱动的马达，对所述马达的回转角和/或转速进行检测的回转检测装置，在所述泵体上形成的流体吸入口和排出口；用所述泵体和所述多个转子形成流体输送空间，同时，在所述多个回转轴中，使设有小直径转子的回转轴成为由高频马达驱动的主动轴，而使其它回转轴成为由交流伺服马达或脉冲马达驱动的从动轴，通过根据所述回转检测装置的信息对所述从动轴的回转驱动装置进行控制，使所述从动轴的回转与所述主动轴的回转同步。
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