[发明专利]可驱动反射镜阵列及其制造方法

摘要

一种用于光学投影系统的Ｍ×Ｎ薄膜可驱动反射镜阵列，包括一个有源矩阵，一个Ｍ×Ｎ支持单元阵列，Ｍ×Ｎ个第一、第二和第三导体三重体，及一个Ｍ×Ｎ薄膜驱动结构。每个驱动结构都含有一个第一层、一个电致位移层和一个第二层，其中第一和第二层分别位在电致位移层的顶部和底部。在每个可驱动反射镜中，第一层都通过各自的第二和第三导体与导线图案有电连接，从而起到偏置电极的作用；而第二层都通过第一导体与内含的一个晶体管有电连接，从而起到信号电极的作用。$＃!

主权项

1、一种用于光学投影系统的M×N薄膜可驱动反射镜阵列，该M×N个薄膜可驱动反射镜中的每一个都能引起入射光束光路的偏转，上述阵列包括：一个有源矩阵，它含有：一个基底；一个导线图案，用来把偏置电压传送到各个薄膜可驱动反射镜上；一个M×N晶体管阵列，每个晶体管都能够向相应的薄膜可驱动反射镜提供电信号；以及一个M×N对接线端阵列，其中每一对中的一个接线端与一个晶体管相电连接，另一个接线端与导线图案相电连接；M×N个第一、第二和第三导体三重体，其中的第一导体与连接在晶体管上的接线端相电连接，第二导体与连接在导线图案上的接线端相电连接；M×N支持单元阵列，每个支持单元都带有第一和第二导体；以及一个M×N薄膜驱动结构阵列，每个薄膜驱动结构都含有：一个由既导电又反光的材料做成的第一层，一个具有顶面和底面的电致位移层，以及一个由导电材料做成的第二层；第一和第二层分别位在电致位移层的顶面和底面上的，每个驱动结构都带有一个近端和一个远端，每个驱动结构的近端都固定在相应支持单元的顶部，第三导体形成在第一和第二层之间；每个驱动结构中的第一层都通过第二和第三导体与连接在导线图案上的接线端相电连接，从而使它能同时起到偏置电极和反射光束的反射镜的作用，而其中的第二层通过第一导体与连接在晶体管上的接线端相电连接，从而使它能起到信号电极的作用，其中施加在位于第一和第二层之间的电致位移层两侧的电信号造成该位移层的形变，从而造成上述包括作为反射镜的第一层在内的每个驱动结构的形变，由此改变了入射光束的光路。