[发明专利]具有用于阳极和阴极分别再生的反馈通道的湿法处理设备无效
| 申请号: | 95104078.2 | 申请日: | 1995-03-25 |
| 公开(公告)号: | CN1065656C | 公开(公告)日: | 2001-05-09 |
| 发明(设计)人: | 北岛洋;青木秀充;滨野春人;森田信;白水好美;中森雅治;濑尾祐史;清水裕司;井内真;佐佐木康;N·太田;K·渡边 | 申请(专利权)人: | 日本电气株式会社 |
| 主分类号: | H01L21/302 | 分类号: | H01L21/302;C23F3/00 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 萧掬昌,马铁良 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 在湿法处理设备中设置了电解槽(1′);第一存储槽(11-1)存储电解槽的阳极活化水;第一处理槽(3′-1,3″-1)用第一存储槽的阳极活化水处理工件(303,331);第二存储槽(11-2)存储电解槽的阴极活化水;第二处理槽(3′-2,3″-2)采用第二存储槽的阴极活化水处理工件(303,331)。且在第一处理槽与电解槽的阳极区之间设置第一再生反馈通道(12-1~16-1),在第二处理槽与电解槽的阴极区之间设置第二再生反馈通道(12-2~16-2)。 | ||
| 搜索关键词: | 具有 用于 阳极 阴极 分别 再生 反馈 通道 湿法 处理 设备 | ||
【主权项】:
1.一种湿法处理设备,其特征在于,它包括:电解槽(1'),具有阳极电极(1a)和阴极电极(1b),用于依靠纯水和电解液中之一进行电解,在所述阳极电极附近产生阳极活化水,在所述阴极电极附近产生阴极活化水;第一存储槽(11-1),用于存储所述阳极活化水;第一处理槽(3′-1,3″-1),用于接收来自所述第一存储槽的所述阳极活化水,用所述阳极活化水来处理第一工件(303,331),并使水从其中排出;第一再生反馈装置(12-1~16-1),用于再生从所述第一处理槽排出的水,并把再生后的水反馈至所述电解槽的所述阳极电极附近;第二存储槽(11-2),用于存储所述阴极活化水;第二处理槽(3′-2,3″-2),用于接收来自所述第二存储槽的所述阴极活化水,用所述阴极活化水来处理第二工件(303,331),并使水从其中排出;第二再生反馈装置(12-2~16-2),用于再生从所述第二处理槽排出的水,并把再生后的水反馈至所述电解槽的所述阴极电极的附近。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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