[发明专利]抗静电显微镜无效

专利信息
申请号: 94194793.9 申请日: 1994-12-05
公开(公告)号: CN1058087C 公开(公告)日: 2000-11-01
发明(设计)人: 小H·A·迈耶;V·瓦卡雷利 申请(专利权)人: 莱卡股份有限公司
主分类号: G02B21/00 分类号: G02B21/00
代理公司: 上海专利商标事务所 代理人: 林蕴和
地址: 美国*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 使用能使静电电荷消散的塑料代替常规塑料,使具有旋钮、盖子、和目镜环等塑料部件的显微镜成为抗静电的。这种抗静电显微镜特别适用于制造和检验在暴露于静电电荷作用下易受损坏的半导体。
搜索关键词: 抗静电 显微镜
【主权项】:
1.一种用于检验易受静电电荷损坏的元件的显微镜,它具有一个导电性金属显微镜部件,该部件与一个易于积聚静电电荷的注塑的塑料显微镜部件相连接,其特征在于所述塑料显微镜部件基本上包括一种非静电消散的聚合物和一种静电消散的聚合物,静电电荷可通过所述的导电性金属显微镜部件迅速消散。
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