[发明专利]电子源和成象装置

摘要

电子源，它包括基底、设置在基底上的行方向引线和列方向引线、以及与行和列方向引线相连的电子发射元件，一恒定电压加到行和列方向引线中的一个上，一对应于输入信号的可变电压被加到其他引线上，从而使电子发射元件发射电子束。借助该电子源和采用该电子源的成象装置，可选择众多电子发射元件中所需要的一个、有选择地控制从其发射的电子的数量、并在不用栅极的情况下会聚电子束，从而使电子发射元件阵列具有更高的密度并产生更清晰的图象。$#!

主权项

1、电子束发生装置，包含电子源和根据输入信号从所述电子源发射电子束的驱动装置，所述电子源包括：基底(1)；彼此交叉叠置于所述基底之上的第1连线(82)和第2连线(83)，二者之间设置有绝缘层(84)；以及具有电子发射区(4)的电子发射元件(3，4)，与所述第1连线和第2连线相连；其中所述电子发射元件、所述第1连线和所述第2连线分别提供有多个，所述多个电子发射元件排列成矩阵图案；所述驱动装置对所述第1连线施加第1电位，对所述第2连线施加第2电位；其特征在于：在关于电子源的表面限定的X-Y平面四个方向(±X，±Y)中的至少三个方向，各所述电子发射区(4)被一个所述第1连线(82)、或者被一个所述第1连线和用于连接该一个所述第1连线和该电子发射区的连接电极(75)所包围，该一个所述第1连线设置于所述绝缘层之上，以及施加到该一个所述第1连线的第1电位的幅度不大于施加到与电子发射区相连的一个所述第2连线的第2电位的幅度，该一个所述第2连线设置于所述绝缘层之下，施加到该一个所述第1连线的第1电位对应于扫描信号，施加到该一个所述第2连线的第2电位对应于调制信号。